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电感耦合等离子体质谱(Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry, ICP-MS)是质谱大家庭中的一员.以电离的体气(如Ar+)和电子在通过线圈施加的高频电磁场中形成表观电中性的高温电感耦合等离子体(ICP)为离子源,配备各种类型的质量分析器,构成ICP-MS(图1).