【摘 要】
：
目前国内半导体厂投资已朝向300mm晶圆发展,其晶圆的生产工序日渐复杂,针对晶圆加工现场有很多数据需要在前台进行显示和处理,前台需要对设备的运行状态进行监控,及时反馈设
【机 构】
：
中国科学院沈阳自动化研究所,辽宁沈阳110016
【出 处】
：
the 2nd Asia-Pacific Conference on Information Theory and te
论文部分内容阅读
目前国内半导体厂投资已朝向300mm晶圆发展,其晶圆的生产工序日渐复杂,针对晶圆加工现场有很多数据需要在前台进行显示和处理,前台需要对设备的运行状态进行监控,及时反馈设备的运行信息的情况,本论文对半导体集成电路的生产制造设备(IC装备)控制系统的图形元素的可视化方法进行了研究.利用C＃的控件技术,使晶圆加工过程中的设备和数据以可视化控件的方式来搭建IC装备控制系统的人机界面,并根据实际情况实现动画效果,使用户有身临其境的应用效果.这种基于C＃控件技术的开发方法即可实现控件的重用和代码的共享,从而提高编程效率,便于分工协作、利于调试.
其他文献
我妻子周冬齐也是知名演员,至今已主演过《离开雷锋的日子》、《结婚十年》、《房前屋后》等20多部影视剧。在很多人的想象里,我们这样的明星夫妻一定过着锦衣玉食、挥金如土
本文中,考虑了一个两跳AF(Amplify-and-Forward)中继系统,即基站通过中继与用户进行通信,其中基站端和移动端分别装有NT和NR根天线，而中继为单天线.基于中继端是否存在干扰,考
喷墨印刷技术具有快捷、信息可变等特点,已经逐步应用于一维、二维条码等可变信息产品的印刷生产中.可变信息喷墨印刷产品需要检测,实现喷墨印刷过程中的在线自动检测具有重
Objective:With economic development and lifestyle changes，the prevalence of diabetes increased year by year in our country.As everybody knows that liver，as one of
近年来,在“共享经济”的推动下,共享茶馆逐步兴起.相比于传统茶馆,共享茶馆具有典型的“互联网基因”,中青年消费者则是共享茶馆的主要目标群体.福建省是我国茶业主产区之一
针对现场侦察的具体需求,利用3G网络和TITMS320DM368 DaVinci平台构建了一种无线音视频通信系统.系统具有音视频采集、无线传输、G726和H264音视频编解码、数据加密等功能,在
曾经有一位30岁左右的企业家,找到笔者寻求心理帮助.进入咨询室,他开门见山地问到:“我来只想问一个问题,我该不该离婚?”面对突如其来的问题,确实让人猝不及防.人在情绪应激
本文介绍了无线多路环境采集的特点、系统的硬件设计和软件设计原理及实现方法,并最终得出结论.本系统采用STC89C52作为控制中心;采集部分分别采用DHT22进行温湿度采集、TSL2
光载无线技术结合光纤通信和无线移动通信的技术优势,较好的解决了带宽问题,灵活性问题和电磁干扰问题,其相关技术的研究已在国内外引起了广泛关注.随着我国智能电网建设的展
课堂教学是高职院校实现人才培养的主要环节,也是教学评价的核心关键。而课堂教学质量的精细化评价,是一种目标精确、流程精细、监控精准的课堂教学评价方式,也是一种以师生