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本文试验了HNO3,HF在常温下溶解铌铁样品及采用基体匹配来消除共存元素的干扰；采用钇内标加入法提高了该方法的稳定性,同时考察了电感耦合等离子体光谱仪的RF功率、雾化气流量、辅助气流量等参数,选择了仪器的最佳分析参数。并利用ICP光谱仪的分析软件,选择适当的背景点来扣除背景,通过编辑分析程序,实现了自动绘制工作曲线、计算数据结果。试验表明,该方法测定铌铁中硅、铝、钛成分,方法简单、快速、准确。