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采用物理化学方法低温制备了碳掺杂TiO2薄膜.对薄膜的结构和性能做了表征与分析.XRD结果显示薄膜为锐钛矿结构且没有出现非TiO2结构的特征峰;光响应波长已由纯TiO2薄膜的380nm拓宽到425nm的可见光区;从薄膜表面及深层的X射线光电子能谱都发现Ti-C的特征峰,可知部分掺杂碳是以化合物的状态存在TiO2-xCx薄膜中;薄膜的电镜结果显示薄膜晶粒大小均匀且为纳米量级,同时呈现出比表面积很大的柱状晶结构;与商品的纯TiO2薄膜(PilkingtonActivGlass)相比表现出良好的可见光光催化性能和光致自洁效果.