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5. 镁对磷掺杂ZnO薄膜中磷的化学态及p型导电行为的影响

镁对磷掺杂ZnO薄膜中磷的化学态及p型导电行为的影响

来源 :第13届全国发光学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Almzg_0

【作 者】

：

李继超 李永峰 丁占辉 徐莹 龙仕旺 姚斌 

【机 构】

：

吉林大学物理学院,吉林大学新型电池物理与技术教育部重点实验室,长春, 130023

【出 处】

：

第13届全国发光学学术会议

【发表日期】

：

2013年12期

【关键词】

：

ZnO p型掺杂 磷 磁控溅射 

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