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本文介绍了玻璃-硅-玻璃静电封接的基本原理,阐述了经过改造后的DFJ-Ⅲ型静电封接设备能实现硅电容式加速度计的静电键合和精确对位.
硅电容式加速度计研制中的玻璃-硅-玻璃静电封接技术
【摘 要】
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本文介绍了玻璃-硅-玻璃静电封接的基本原理,阐述了经过改造后的DFJ-Ⅲ型静电封接设备能实现硅电容式加速度计的静电键合和精确对位.
【机 构】
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四川绵阳市919信箱512分箱
【出 处】
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第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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2001年期
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