切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
硅电容式加速度计相关论文
基于SiO2/Cr/Au多层掩膜的MEMS加工技术
本文介绍了一种基于SiO2/Cr/Au多层掩膜的MEMS加工技术,用于制作扭摆式硅电容式加速度计的硅零件.它具有对所用设备要求低,成本低,......
会议
多层
掩膜
硅电容式加速度计
压力传感器
加速度开关
制作
应用前景
加工技术
工艺路线
扭摆式
可靠性
振动
设备
零件
成本
硅电容式加速度计研制中的玻璃-硅-玻璃静电封接技术
本文介绍了玻璃-硅-玻璃静电封接的基本原理,阐述了经过改造后的DFJ-Ⅲ型静电封接设备能实现硅电容式加速度计的静电键合和精确对......
会议
硅电容式加速度计
玻璃
静电封接
静电键合
精确对位
封接设备
原理
改造
看过本文同时还关注
如何写好一篇毕业论文
免费论文查重的方法
从零开始写毕业论文的方法
热心助人的动物
第一届全国脊柱脊髓基础研究及临床...
2004世界科技七大看点
对甘肃省国有企业兼并问题的思考
热心助人的动物
对甘肃省国有企业兼并问题的思考
热心助人的动物