【摘 要】
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本文分析了使用"阴版刻蚀法"制作微波电路用TaN薄膜电阻存在的问题,在此基础上对TaN薄膜电阻的刻蚀工艺进行了改进,重点讨论了使用"阳版刻蚀法"由TaN/TiW/Au多层结构在Al2O3基片上制作50Ω/□TaN薄膜电阻的工艺过程。研究表明,在制作微波电路用TaN薄膜电阻方面,"阳版刻蚀法"很大程度上改进了"阴版刻蚀法"的固有弊端,具有易操作、图形套准时间短、套准窗口宽等比较优势,这将对提高微波电
【机 构】
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2011年全国微波毫米波会议论文集（上册）
【出 处】
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2011年全国微波毫米波会议论文集（上册）
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本文分析了使用"阴版刻蚀法"制作微波电路用TaN薄膜电阻存在的问题,在此基础上对TaN薄膜电阻的刻蚀工艺进行了改进,重点讨论了使用"阳版刻蚀法"由TaN/TiW/Au多层结构在Al2O3基片上制作50Ω/□TaN薄膜电阻的工艺过程。研究表明,在制作微波电路用TaN薄膜电阻方面,"阳版刻蚀法"很大程度上改进了"阴版刻蚀法"的固有弊端,具有易操作、图形套准时间短、套准窗口宽等比较优势,这将对提高微波电路的生产效率和成品率起到重要的促进作用。
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