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采用EACVD法在硬质合金(YG6)刀具衬底上沉积金刚石薄膜,用氢微波等离子体刻蚀的方法对衬底进行表面预处理,研究了该项预处理技术对WC硬质合金衬底表面成分的影响,以及对所沉积金刚石薄膜的附着力、表面形貌、薄膜质量以及表面粗糙度的影响等问题.通过对难加工材料实际切削试验,研究了所制备的金刚石薄膜涂层刀具的切削性能.试验结果表明,微波等离子体刻蚀脱碳处理是提高金刚石薄膜附着力和改善涂层刀具切削性能的有效预处理方法.