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<正>用高频等离子体作为热源,采用化学气相沉积的方法合成石英玻璃。实验分别使用 O2气和空气作为等离子体电离气体和灯具冷却的保护气体。当等离子体电离工作气体采用空气时等离子体火焰长度增加,石英玻璃沉积温度升高,确保了气相
等离子体化学气相沉积(PCVD)法合成石英玻璃
【摘 要】
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<正>用高频等离子体作为热源,采用化学气相沉积的方法合成石英玻璃。实验分别使用 O2气和空气作为等离子体电离气体和灯具冷却的保护气体。当等离子体电离工作气体采用空气时
【机 构】
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中国建筑材料科学研究总院;
【发表日期】
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2007年期
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