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本文介绍了PHEMT器件的结构,界面态对PHEMT器件影响的现象和机理,并主要从直流特性,击穿电压和栅延时等方面研究界面态对PHEMT器件的影响,最后针对界面态总结了界面态分析方法,包括:通过沟道峰值电场和碰撞电离率来研究界面态密度;二维量子模型模拟法;根据跨导随频率变化来测量界面态密度法。