论文部分内容阅读
近年来，随着市场的对于液晶面板质量需求越来越高，产品薄化成为市场的主流趋势。产品主流薄化主要以化学薄化为主。在HF等溶液化学蚀刻后，产品由原来的1.0mm薄化到0.5mm，0.4mm等。本文主要探讨了基于Top—spray式化学蚀刻方法下的的品质缺陷酸刻条纹的成因及改善。并为TFT-LCD化学薄化提供技术参考。