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微细电火花加工具有无宏观作用力的显著特点,是一种颇具竞争力的微细加工方法.采用化学蚀刻方法,制作出截面尺寸为100 μm×100 μ......
以电化学扫描显微镜(SECM)探针为工具,在修饰有十二硫醇的金基底电极上,通过低电位短脉冲的蚀刻方法,使得探针正下方的基底表面修......
近年来，随着市场的对于液晶面板质量需求越来越高，产品薄化成为市场的主流趋势。产品主流薄化主要以化学薄化为主。在HF等溶液化......
基于MEMS技术完成了一个360GHz肖特基混频器的设计与加工制作。由于亚毫米波电路尺寸微小，通常的蚀刻方法不能满足加工精度要求......
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