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三氟化氮特种气体及其潜在优势的研究
三氟化氮特种气体及其潜在优势的研究
来源 :2006全国电子化学品发展研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jin1067061730
【摘 要】
:
本文通过对三氟化氮特种气体理化性质、气体制备方法、纯度分析、毒性和检测、气体管理及存储、以及杂质的清除等的论述,阐明了三氟化氮作为一种干气体蚀刻剂有潜在的优势,特
【作 者】
:
杨彦
【机 构】
:
中核红华特种气体股份有限公司
【出 处】
:
2006全国电子化学品发展研讨会
【发表日期】
:
2006年期
【关键词】
:
三氟化氮
特种气体
制备方法
气体管理
理化性质
纯度分析
蚀刻率
蚀刻剂
杂质
清除
检测
毒性
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本文通过对三氟化氮特种气体理化性质、气体制备方法、纯度分析、毒性和检测、气体管理及存储、以及杂质的清除等的论述,阐明了三氟化氮作为一种干气体蚀刻剂有潜在的优势,特别是用于需要高蚀刻率时.在通常条件下,可进行方便的管理.
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