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该文大大量研究的基础上，论述了可能作为加速度计操作原理的几种方案，介绍了这几种方案的基本原理和基本结构。
硅微加速度计操作原理
【摘 要】
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该文大大量研究的基础上，论述了可能作为加速度计操作原理的几种方案，介绍了这几种方案的基本原理和基本结构。
【机 构】
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大学精密仪器与机械学系(北京)
【出 处】
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中国兵工学会第九届测试技术年会
【发表日期】
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1998年期
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