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会议论文
硅微加速度计操作原理
硅微加速度计操作原理
来源 :中国兵工学会第九届测试技术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:nixiangtama
【摘 要】
:
该文大大量研究的基础上,论述了可能作为加速度计操作原理的几种方案,介绍了这几种方案的基本原理和基本结构。
【作 者】
:
王晓浩
周兆英
张文栋
叶雄英
【机 构】
:
大学精密仪器与机械学系(北京)
【出 处】
:
中国兵工学会第九届测试技术年会
【发表日期】
:
1998年期
【关键词】
:
硅微加速度计
操作原理
结构
基础
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该文大大量研究的基础上,论述了可能作为加速度计操作原理的几种方案,介绍了这几种方案的基本原理和基本结构。
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