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碳化硅晶体研究进展及应用
【机 构】
:
中国科学院物理研究所;北京天科合达蓝光半导体有限公司
【出 处】
:
中国电子材料行业协会半导体材料分会第四届蓝宝石、新型化合物半导体材料和人工晶体产业发展研讨会
【发表日期】
:
2015年6期
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