【摘 要】
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透射光栅谱仪作为软X射线能谱测量的一种测量仪器,因其设计简单,易于调节,相对于其它谱仪有较宽的测谱范围,较高的灵敏度,以及较高的谱分辨,被广泛应用于惯性约束聚变等
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心,绵阳621900
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透射光栅谱仪作为软X射线能谱测量的一种测量仪器,因其设计简单,易于调节,相对于其它谱仪有较宽的测谱范围,较高的灵敏度,以及较高的谱分辨,被广泛应用于惯性约束聚变等离子体X射线诊断中.透射光栅作为光栅谱仪的核心元件,其线对密度决定光栅谱仪的分辨率,因此,我们通过电子束光刻、X射线光刻复制、光学光刻、加强筋结构优化等主要技术路线,改进光栅制作工艺,国内首次研制出大面积高线对密度光栅,其面积为1×1mm2,线对密度为5000 lines/mm.
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