【摘 要】
:
微机械(MEMS)工艺和集成电路(IC)工艺中,在硅(Si)片上电铸高深宽比坡莫(NiFe)合金材料常出现脱落现象.本文提出了一种电铸NiFe合金材料的新方法,这种方法制作的合金薄膜厚度
【机 构】
:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130033
论文部分内容阅读
微机械(MEMS)工艺和集成电路(IC)工艺中,在硅(Si)片上电铸高深宽比坡莫(NiFe)合金材料常出现脱落现象.本文提出了一种电铸NiFe合金材料的新方法,这种方法制作的合金薄膜厚度达200 μm时不脱落.此方法即对等离子刻蚀后的硅片溅射种子层铜(Cu),然后对种子层进行电镀,当其厚度达到约15 μm时,再进行NiFe合金的电铸.本文用扫描电镜、x射线衍射仪和剥离实验研究了薄膜粘附特性.研究结果表明当对种子层电镀后,随着Cu种子层厚度的增加,Cu/NiFe薄膜与基体的粘附强度增加,而薄膜的残余应力降低;同时Cu膜表面粗糙度增加,也增加了NiFe膜与Cu膜的粘附强度.
其他文献
目的:为红苞半蒴苣苔的开发利用提供生药学和化学资料及深入研究提供数据。方法:石蜡制片法、水合氯醛透化法和HPLC-UV法。结果:在茎横切面上皮层内有大量类圆形石细胞,髓部
十九世纪的会计政策还很不发达,明显特点就是无序性,没有统一的规范标准;二十世纪出现了与配比观念、持续经营计价及真实收益观念、受托责任观、决策有用观下相对应的会计政
目的:观察肿节风复方含药血清对人肝癌细胞HepG2细胞增殖及凋亡的影响。方法:实验设阴性对照组(NS)、5-氟尿嘧啶(5-FU)组(0.025 g·kg-1)和肿节风复方低、中、高剂量组(2.5,5
跨国公司的全球经济活动使会计协调从上个世纪六十年代开始成为理论界研究的热点问题,跨国公司的对外直接投资使海外分支机构与母公司合并报表的编制引起了研究者对不同国家
在确保环境不受损害的前提下,减少废弃物,提高企业资源利用率和经济效益,是现代企业实施可持续发展战略的重要目标.资源流成本核算能从数量和金额两方面计量企业生产过程中的
目的 :观察MEBT/MEBO在全身应用不同种类抗生素和伤后至接受湿疗不同时间的情况下 ,对面部不同深度烧伤的临床效果.方法 :将采用MEBT/MEBO治愈的 830例面部不同深度烧伤病人
目的:研究二脱甲氧基姜黄素(Bdmc)与阿霉素(ADR)联合应用对人白血病多药耐药细胞株(HL-60/ADR)的生长抑制作用。方法:HL-60/ADR细胞2×103/孔,1,2,4,8μmol·L-1Bdmc分别与0.
现代经济管理研究表明,企业利益相关者本身以及制约和影响利益相关者行为的企业制度、市场环境等因素对企业财务状况、经营成果的影响越来越大,有关人与制度的信息应成为会计
现阶段,我国农村财务整体上呈现出管理体制分割下的职责欠明、效率低下态势,同时还存在着财务信息化建设落后、融资渠道狭窄、投资品种单一、理财意识淡薄、理论研究过少等问
本文揭示了会计寻租产生的深层原因.以会计数据作为监管工具的各种政策、规定等所创造的真实租金及其易得性是导致会计寻租产生的深层原因,而不是有关会计信息确认、计量和披