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本文利用磁控溅射设备成功的制备了厚度为100nm的Fe3O4薄膜,并在真空状态下进行了退火处理。利用X射线衍射仪(XRD)和四探针测试仪测定其结构与巨磁电阻(GMR)效应。研究发现：制备Fe3O4薄膜在功率70W时,沿着(111)方向择优取向,GMR值也随着退火温度的升高而变大。
Fe3O4薄膜制备及其巨磁电阻效应研究
【摘 要】
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本文利用磁控溅射设备成功的制备了厚度为100nm的Fe3O4薄膜,并在真空状态下进行了退火处理。利用X射线衍射仪(XRD)和四探针测试仪测定其结构与巨磁电阻(GMR)效应。研究发
【作 者】
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【机 构】
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School of Materials Science and Engineering,Guilin University of Electronic Technology,Guilin,541004
【出 处】
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第十六届全国相图学术会议暨相图与材料设计国际研讨会
【发表日期】
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2012年期
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