【摘 要】
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掩模缺陷是阻碍极紫外光刻实现量产的主要难题之一.掩模多层膜中的缺陷主要造成多层膜的变形,对多层膜反射系数的影响复杂且难以修复,需要一定的方法进行补偿.准确快速的仿真缺陷对多层膜衍射谱和空间像的影响是实现快速补偿的关键.目前含缺陷多层膜衍射谱仿真主要采用严格仿真方法如FDTD、波导法等,通过求解麦克斯韦方程组得到衍射谱精确发布,计算量大,计算速度慢,不利于大面积掩模仿真需要.本文提出了一种基于等效膜
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800;中国科学院大学,北京100039 中国科学院上
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掩模缺陷是阻碍极紫外光刻实现量产的主要难题之一.掩模多层膜中的缺陷主要造成多层膜的变形,对多层膜反射系数的影响复杂且难以修复,需要一定的方法进行补偿.准确快速的仿真缺陷对多层膜衍射谱和空间像的影响是实现快速补偿的关键.目前含缺陷多层膜衍射谱仿真主要采用严格仿真方法如FDTD、波导法等,通过求解麦克斯韦方程组得到衍射谱精确发布,计算量大,计算速度慢,不利于大面积掩模仿真需要.本文提出了一种基于等效膜层法的含缺陷多层膜衍射谱快速仿真方法.将含缺陷多层膜分割为无缺陷部分S1和含缺陷部分S2,并通过等效膜层法对两部分分别建模,如图1所示.含缺陷部分的范围由多层膜表面缺陷的半峰全宽决定,将含缺陷部分等分为N份,假设每一份多层膜各层之间是平行的,采用等效膜层法即可得到每份多层膜的复反射系数.由此可得到含缺陷多层膜的衍射谱.
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1 引言微光像增强器荧光屏上明显的亮点或暗点即为疵点,疵点是评价微光像增强器的重要指标,也是决定其质量优劣的重要因素.通常情况下,微光像增强器光阴极的不感光点、微通道板的死点、荧光屏的暗点、离子斑点和未发光点等都表现为疵点.因此,根据GJB 5984-2007《三代微光像增强器规范》,三代微光像增强器疵点检测实际上是其光阴极、微通道板和荧光品质量检测.
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利用图像的灰度梯度信息给出图像内目标星点的边缘信息,由给出的边缘信息进行形态学领域填充形成连接分量,对连接分量进行面积计算,由目标星点处的连接分量面积最大的特性,实现了对目标星点的识别.对目标星点对应的连接分量进行形心计算,实现了对目标星点的定位.该方法避免了CCD固有的模式噪声及其它目标对目标星点的提取产生干扰,该方法实现了低信噪比、多目标,星点目标的提取与定位判读.
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现代光学干涉测量技术具有快速、非接触、可全场测量、高灵敏度和高精度等特点,是高精度光学精密检测的主要方法.干涉图对比度的高低直接影响相位提取的准确性,影响干涉测量结果的准确性.通常斐索干涉仪参考镜的反射率为4％左右,当测量高反射率表面时,干涉对比度会迅速下降;如当被测面反射率大于80％时,干涉对比度小于10％,无法实现正常检测.采用高反射率的参考面可以提高干涉对比度,但又会引起多次反射寄生干涉,使