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本文对IGBT器件发生栓锁机理,易发生栓锁的工况及预防措施进行了研究.基于大量仿真,对IGBT器件进行防栓锁设计;并进行流片验证,试验结果与理论/仿真较好符合.
IGBT器件栓锁特性研究
【摘 要】
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本文对IGBT器件发生栓锁机理,易发生栓锁的工况及预防措施进行了研究.基于大量仿真,对IGBT器件进行防栓锁设计;并进行流片验证,试验结果与理论/仿真较好符合.
【机 构】
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国网智能电网研究院电工新材料及微电子研究所,北京 100192
【出 处】
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2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
【发表日期】
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2013年期
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