【摘 要】
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有机光电子器件的迅速发展对有机材料光学参数的测量提高更高要求。本文应用 Woollam 公司生产的 M-2000UI 型分光椭偏仪及其 WVASE32 软件，对 Si 基有机/聚合物薄膜的折射率和吸收系数的测量方法进行分析；对聚甲基丙烯酸甲酯材料和氟化聚醚砜材料在波长为 1.55μm 时的折射率进行了准确测量，并根据测量结果对聚合物 AWG 器件进行了设计，器件通道数为 32，工作波长为1.55μ
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春,130021;集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,长春,1300232
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有机光电子器件的迅速发展对有机材料光学参数的测量提高更高要求。本文应用 Woollam 公司生产的 M-2000UI 型分光椭偏仪及其 WVASE32 软件，对 Si 基有机/聚合物薄膜的折射率和吸收系数的测量方法进行分析；对聚甲基丙烯酸甲酯材料和氟化聚醚砜材料在波长为 1.55μm 时的折射率进行了准确测量，并根据测量结果对聚合物 AWG 器件进行了设计，器件通道数为 32，工作波长为1.55μm，波长间隔为 0.8nm。
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