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本文通过对Al-N/Al太阳能选择性吸收涂层沉积工艺的研究,分析了该涂层膜基结合强度较差的原因,进行了不同沉积工艺条件下的涂层膜基结合强度、吸收率和热损试验,对试验结果进行了仔细的分析,优化确认在Al-N/Al太阳能选择性吸收涂层沉积工艺基础上实施第N层充N2气工艺,可以较好地提高涂层的膜基结合强度,同时保证涂层的吸收率和太阳能集热管的热损不发生明显的下降。