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用射频溅射两步法制备立方氮化硼(c-BN)薄膜,由傅立叶变换红外吸收光谱计算其立方相含量,用紫外-可见光分光光度计测得薄膜的反射光谱R(λ)和透射光谱T(λ),进一步确定薄膜的吸收系数α随光子能量hv变化的关系曲线,计算出薄膜的光学带隙,其结果与经验公式的计算结果相吻合。
立方氮化硼薄膜的光学性质
【摘 要】
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用射频溅射两步法制备立方氮化硼(c-BN)薄膜,由傅立叶变换红外吸收光谱计算其立方相含量,用紫外-可见光分光光度计测得薄膜的反射光谱R(λ)和透射光谱T(λ),进一步确定薄膜的吸收系数α随光子能量hv变化的关系曲线,计算出薄膜的光学带隙,其结果与经验公式的计算结果相吻合。
【机 构】
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北京工业大学,应用数理学院,北京,100022 北京工业大学,材料学院,北京,100022
【出 处】
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2006年全国功能材料学术年会
【发表日期】
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2006年11期
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