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利用射频溅射法在高温热氧化的N 型硅衬底上沉积Y 和Er 共掺的TiO2(TiO2:Y,Er)薄膜,并制备了ITO/TiO2:(Y,Er)/SiO2/Si 结构的发光器件。与TiO2:Er 薄膜发光器件相比,共掺Y 的器件在可见光区与红外光区的由碰撞离化机制主导的与Er3+相关的电致发光均得到显著增强。研究发现,通过Y 的共掺,可以促使TiO2 基体由单一的锐钛矿相转变为以金红石相为主,并且TiO2:Er 薄膜中空隙也会减少。分析认为由于以金红石相为主的TiO2:(Y,Er)薄膜具有更大的电子亲和能以及更好的薄膜质量,从而使得Er3+的碰撞离化能够更有效地在TiO2:(Y,Er)薄膜中进行。