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在北京HI-13串列加速器上建立了微电子器件单粒子效应地面模拟辐照试验装置.利用Q3D磁谱仪的高分辨特性和散焦特性,获得了强度均匀分布、注量率可调的单能重离子束流,开展了大量星用器件抗单粒子效应性能评估试验研究.为了深入研究单粒子效应机制,采用针孔准直技术,建立了重离子微束单粒子效应辐射装置,获得了最小束点尺度为2.3μm×3.5μm的重离子微束.