几种特殊的离子束分析法测定CVD金刚石膜中的杂质

来源 :第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:azhu0919
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金刚石具有非常优异的物理性能,如有最高的硬度、室温下最高的热导率、极小的热膨胀系数、全波段高光学透过率、声传播速度快、介电性能好、掺杂后具有半导体性质、并有极佳的化学稳定性.上述特性使其在机械、电子、化学、声学及国防等诸多领域有重要的应用价值<[1]>.
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