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本文针对微加工系统要求高分辨率的成像系统的特点,采用折射型系统,利用最小二乘法,校正球差、彗差和畸变,设计一个缩小倍率15:1的投影成像物镜,满足了掩模投影成像加工系统的要求.
准分子激光成像系统的研究
【摘 要】
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本文针对微加工系统要求高分辨率的成像系统的特点,采用折射型系统,利用最小二乘法,校正球差、彗差和畸变,设计一个缩小倍率15:1的投影成像物镜,满足了掩模投影成像加工系统
【机 构】
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中国科学院空间科学与应用研究中心,北京,100080
【出 处】
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中国空间科学学会空间探测专业委员会第十八次学术会议
【发表日期】
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2005年期
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