电荷收集法测量低温等离子体密度

来源 :第七届全国激光科学技术青年技术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hwcf
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利用电荷收集法,在正、负偏置和低真空背景三种不同收集条件下测量了用于等离子体断路开关的电缆等离子体枪产生的低温等离子体的密度和漂移速率.测量结果表明:三种收集条件下测得的等离子体漂移速率相近;在相同测量点处,负偏置收集条件下测得的等离子体密度大于正偏置和低真空背景收集条件下的测量值,而低真空背景收集条件下的测量值最小.不同收集条件下等离子体密度测量结果的偏差与国际上利用微波、光谱及干涉法获得结果的偏差相当.
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