【摘 要】
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本文采用自制的微弧氧化装置,选用合适的电解液及上艺参数,在Ti基体上直接沉积钛酸盐系铁电薄膜。利用X射线(XRD)、扫描电镜(SEM)对薄膜的棚组成、形貌进行了分析。结果表明,在Pb(CH3COOH)2溶液中无法沉积出PbTiO3,在Ba(CH3COOH)2溶液中成功沉积出BaTiO3。微弧氧化法制备钛酸盐系铁电薄膜的侧重点应在两方面:一是选用合适的溶液,溶液中含有活泼金属如Sr、Bi、La等离子
【机 构】
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华南理工大学 材料科学与工程学院,广州 510640
【出 处】
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2009中国博士后材料与冶金科学大会
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本文采用自制的微弧氧化装置,选用合适的电解液及上艺参数,在Ti基体上直接沉积钛酸盐系铁电薄膜。利用X射线(XRD)、扫描电镜(SEM)对薄膜的棚组成、形貌进行了分析。结果表明,在Pb(CH3COOH)2溶液中无法沉积出PbTiO3,在Ba(CH3COOH)2溶液中成功沉积出BaTiO3。微弧氧化法制备钛酸盐系铁电薄膜的侧重点应在两方面:一是选用合适的溶液,溶液中含有活泼金属如Sr、Bi、La等离子,以掺杂或取代Ba,生成其它种类的钛酸盐系铁电薄膜,二是研究工艺参数,特别是电流模式对表面形貌的影响,以改善表面平整度。
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