【摘 要】
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化学汽相沉积(CVD)是一种近年来兴起的薄膜生长技术,在现代物理科学技术的发展中扮演着重要的角色,掌握其原理与技术对学习近代物理学具有重要意义.我们在参考国外同类实验的
【出 处】
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第十四届全国原子.原子核物理研讨会暨全国近代物理研究会第七届年会
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化学汽相沉积(CVD)是一种近年来兴起的薄膜生长技术,在现代物理科学技术的发展中扮演着重要的角色,掌握其原理与技术对学习近代物理学具有重要意义.我们在参考国外同类实验的基础上,设计研制了适合大学物理教学的CVD实验装置,它具有结构简单、成本低、安全可靠的特点,在过去的教学实践中取得了良好的教学效果.
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