【摘 要】
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半导体激光器体积小、寿命长,广泛应用于小型LTDS中。然而半导体激光器出现微米级抖动是难免的,由此成像在CCD上的光斑位置也同时存在毫米级抖动,对于高精密LTDS需对抖动光源做
【机 构】
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上海交通大学电子信息与电气工程学院,上海200240
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半导体激光器体积小、寿命长,广泛应用于小型LTDS中。然而半导体激光器出现微米级抖动是难免的,由此成像在CCD上的光斑位置也同时存在毫米级抖动,对于高精密LTDS需对抖动光源做补偿。提出了一种针对激光三角位移传感器(Laser Triangulation Displacement Sensor LTDS)的双光束补偿系统.该补偿系统利用棱镜之间反射,可将准直的激光光源分成两束平行光束,当LTDS的入射光光源抖动时,输出的两束光对称的上下漂移,其中轴线保持不变,从而起到补偿作用,将LTDS因激光光源引起的mm级误差补偿到μm级.
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