纳米级炫耀光栅测量系统稳定性研究

来源 :中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sdwhliyang
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该文记述了炫耀光栅的工作原理及纳米级分辨率的实现方法。弦耀光栅测量系统具有分辨率高、测量范围大、光栅间隙大等优点,但当用激光做光源时,由于激光本身有角度漂移,会影响到测量系统的稳定性。针对激光的角度漂移问题,采用单模光导纤维,让激光通过光学系统藉合到单模光纤中,从单模光纤出来的激光再通过光学系统变成平赴我。激光通过光导纤维后,其角漂大大减小,从而提高了系统的稳定性。
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