我国集成电路设备产业发展的重要性,瓶颈和策略

来源 :2017中国集成电路产业发展研讨会暨第二十届中国集成电路制造年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:massmass
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本文讲述了从电子管计算机到智能手机-工欲善其事,分析了国际最先进的台积电芯片制造的全自动智能化的生产线,半导体关键设备的开发涉及到50多种科学技术及工程领域,等离子体刻蚀的应用五花八门,是最复杂的微观加工工艺,提出了加大在半导体设备和材料领域的投资;要达到整个集成电路产业链投资的20%(目前的投资不到3%)。除股本金投资外,要继续国家重大项目的资助.要鼓励和推动产业链国产化,特别是制定设备和材料的国产化率指标。到2020年应达到15%,到2025年应达到33%,到2030年应达到50%等方面.
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