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碲锗铅(Pb1－狓Ge狓Te)是IVVI族窄禁带半导体材料PbTe与GeTe的赝二元合金固溶体，是一种具有优势的机械强度高的高折射率光学薄膜材料.采用电子束蒸发和电阻蒸发两种方法在硅基片沉积了Pb1－狓Ge狓Te薄膜，使用扫描电镜和能量散射X 射线分析仪表征薄膜表面形貌和化学组分，测量了薄膜在2.5～12μm 的透射谱.相对于电阻蒸发，分析表明电子束蒸发的膜层中Ge含量更接近于源材料中的Ge含量，薄膜具有较大的晶粒尺寸，同时也具有较高的折射率和消光系数.因此，电子束蒸发具有保持复杂半导体材料化学配比一致性的优势.这种化学配比一致性和大晶粒尺寸使电子束蒸发的薄膜具有较高的折射率，而大晶粒造成的散射影响了薄膜的光学透明度.