基于FBAR的L波段MEMS滤波器

来源 :中国电子学会电路与系统学会第二十四届年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zzhmx750

【摘要】

：

提出了基于AlN压电薄膜体声波谐振器(FBAR)的L波段MEMS滤波器,并进行了研究.采用Mason等效模型对器件的谐振特性进行了分析和模拟,提出了滤波器的改进型π-T混合拓扑结构,得

【作者】

：

黄裕霖鲍景富

【机构】

：

电子科技大学电路与系统系成都 611731

【出处】

：

中国电子学会电路与系统学会第二十四届年会

【发表日期】

：

2013年期

【关键词】

：

波段 MEMS加工工艺滤波器体声波谐振器 AlN压电薄膜中心频率性能指标谐振特性

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提出了基于AlN压电薄膜体声波谐振器(FBAR)的L波段MEMS滤波器,并进行了研究.采用Mason等效模型对器件的谐振特性进行了分析和模拟,提出了滤波器的改进型π-T混合拓扑结构,得到了较好的滤波器性能指标.器件的中心频率为1.09GHz,1dB带宽为20MHz,带内波动小于0.4dB,带外抑制大于60dB@30MHz±f0.最后设计了滤波器三维结构并给出了相应的MEMS加工工艺流程.

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