针对大面积产业化非晶硅基叠层薄膜太阳电池,如何提高电池的转化效率及光致稳定性对于产业化硅基薄膜电池的成本控制及产品推广极为重要.众所周知,非晶硅基薄膜太阳电池以其原材料储量丰富、无毒无污染、制备工艺简单、弱光效应好等优势得到人们的青睐,成为研究最多、发展最广泛并最早成为规模化生产的薄膜电池.然而近10年内,非晶硅基薄膜电池的转化效率提高较慢,其中光致衰退效应是制约其发展的一个重要因素.因此,本文的一个重点工作是通过各子电池的工艺优化从而提高电池的稳定性.本文主要介绍了以下几个方面的研究:1)采用a-SiCx和a-SiOx组成的新型双层结构作为电池的窗口层,通过对各沉积参数进行优化,使得非晶硅单结电池的稳定性得到明显改善;2)p/i缓冲层引入高氢稀释的a-Si∶H可有效改善三结非晶硅电池的稳定性;3)系统研究了非晶硅顶电池本征层带隙的影响,发现即便材料性能接近,带隙profile优化对电池的稳定功率仍有较大贡献;4)通过RF电源脉冲频率的优化,改善了硅锗膜层沉积的均匀性.集成各优化项目后,目前我们研发的大面积非晶硅锗烷三结电池的光致稳定性得到了明显改善.