【摘 要】
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介绍几种ZnO和ZnMgO薄膜的p型掺杂方法和所制备的ZnO基p-n结,实现了其电注入发光。并对这些ZnO基p-n结的电注入发光特性进行了研究。
【机 构】
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大连理工大学 物理与光电工程学院,大连 116023 吉林大学集成光电子国家重点实验室 电子科学与工程学院 长春 130012
【出 处】
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第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
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介绍几种ZnO和ZnMgO薄膜的p型掺杂方法和所制备的ZnO基p-n结,实现了其电注入发光。并对这些ZnO基p-n结的电注入发光特性进行了研究。
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