【摘 要】
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用低成本的氯酸钠与氢氧化钠混合液对太阳能级冶金多晶硅片进行化学腐蚀,制作表面织构.研究不同配比的碱性腐蚀液、不同温度和腐蚀时间对表面织构的影响,筛选出最佳腐蚀工艺条件.用扫描电子显微镜、紫外-可见分光光度计测试多晶硅绒面的表面形貌和反射率.测试结果给出:在入射波长650nm范围内,用碱性腐蚀液制出的多晶硅片表面织构反射率可降到20.3％左右.
【机 构】
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内蒙古大学物理科学与技术学院;内蒙古自治区半导体光伏技术重点实验室 内蒙古日月太阳能科技责任有限公
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用低成本的氯酸钠与氢氧化钠混合液对太阳能级冶金多晶硅片进行化学腐蚀,制作表面织构.研究不同配比的碱性腐蚀液、不同温度和腐蚀时间对表面织构的影响,筛选出最佳腐蚀工艺条件.用扫描电子显微镜、紫外-可见分光光度计测试多晶硅绒面的表面形貌和反射率.测试结果给出:在入射波长650nm范围内,用碱性腐蚀液制出的多晶硅片表面织构反射率可降到20.3％左右.
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