【摘 要】
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MoS2由于其在真空环境中具有优异的润滑、减摩性能，因此是一种常用空间润滑材料。溅射MoS2薄膜也成为对空间飞行器运动机构零部件表面改性主要方法。迄今为止，大多数文献只关注入射粒子流垂直部件表面情况下镀膜工艺研究，而多数情况下，入射粒子流与工件表面法线之间存在一定夹角，但不同入射粒子流角度对MoS2薄膜的结构和性能的影响缺少系统性研究。利用磁控溅射技术，在不同入射离子角度下制备了MoS2薄膜，考察
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃兰州 730000
【出 处】
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第七届全国青年表面工程学术会议暨重庆市第二届汽车摩托车摩擦学材料先进技术与应用推进会
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MoS2由于其在真空环境中具有优异的润滑、减摩性能，因此是一种常用空间润滑材料。溅射MoS2薄膜也成为对空间飞行器运动机构零部件表面改性主要方法。迄今为止，大多数文献只关注入射粒子流垂直部件表面情况下镀膜工艺研究，而多数情况下，入射粒子流与工件表面法线之间存在一定夹角，但不同入射粒子流角度对MoS2薄膜的结构和性能的影响缺少系统性研究。利用磁控溅射技术，在不同入射离子角度下制备了MoS2薄膜，考察了入射粒子角度与薄膜结构的关系，明晰了不同入射粒子流角度对MoS2薄膜摩擦学性能差异的影响。该工作将为对复杂部件的表面改性(镀膜)提供一些新的视角。
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