HBAR AS HIGH FREQUENCY HIGH STRESS GENERATOR

来源 :2015两岸超声技术与医学研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ziguangguo
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Background, Motivation and Objective In this paper we report on High-Overtone Bulk Acoustic Resonator (HBAR) as high stress generator by measuring f-Q product of tones and overtones from room temperature to 80K. We show that due to high Q HBARs can generate up to 20MPa AC stress with small drive voltages at GHz frequencies. This capability is instrumental in manipulating spin-defect qubits in materials like Diamond [1] and Silicon Carbide[2] and is key for developing solid-state wafer-scale hybrid quantum systems.
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