【摘 要】
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设计了循环Ar轰击－磁控溅射离子镀(MSIP)工艺， 并用俄歇电子能谱仪(SAM)、扫描电镜(SEM)、 湿热腐蚀加速实验，研究了采用该工艺在铀上制备的铝镀层的表面、剖面形貌、耐蚀性能，以及铀基和铝镀层界面。研究表明：铀基和铝镀层界面存在较宽的原子共混区， 并且该共混区含有氧化铀，UAl。铀上循环Ar轰击－磁控溅射离子镀层为金属铀提供了较好的防护作用。
【出 处】
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2000国际表面工程与防腐蚀技术研讨会
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设计了循环Ar<+>轰击－磁控溅射离子镀(MSIP)工艺， 并用俄歇电子能谱仪(SAM)、扫描电镜(SEM)、 湿热腐蚀加速实验，研究了采用该工艺在铀上制备的铝镀层的表面、剖面形貌、耐蚀性能，以及铀基和铝镀层界面。研究表明：铀基和铝镀层界面存在较宽的原子共混区， 并且该共混区含有氧化铀，UAl<,3>。铀上循环Ar<+>轰击－磁控溅射离子镀层为金属铀提供了较好的防护作用。
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