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金属间化合物对半导体器件可靠性的影响
金属间化合物对半导体器件可靠性的影响
被引量 : 0次 | 上传用户:avc66
【摘 要】
:
研究了半导体器件制造中Cu引线、焊料和Si片系统中,超过焊接温度时Cu引线的Cu原子迁移到Si片中,与重掺杂Si形成的金属间化合物对半导体器件可靠性的影响和对策。
【作 者】
:
蒋祖良
葛永明
滕有玺
【机 构】
:
苏州固锝电子股份有限公司;
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
失效分析
金属间化合物
固溶体
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研究了半导体器件制造中Cu引线、焊料和Si片系统中,超过焊接温度时Cu引线的Cu原子迁移到Si片中,与重掺杂Si形成的金属间化合物对半导体器件可靠性的影响和对策。
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