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氮氣與氨氣滲氮之化學氣相沉積N型鑽石薄膜特性研究
【机 构】
:
國立中山大學機電系暨奈米中心
【出 处】
:
第七届海峡两岸薄膜科学与技术研讨会
【发表日期】
:
2011年10期
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