薄膜残余应力相关论文
针对传统玻璃衬底CIGS电池通常存在Mo薄膜表面裂痕较多,有明显的脱落现象,本文从薄膜应力平衡的角度出发,提出一种适用于PI衬底的......
高残余应力直接影响到薄膜材料的实际应用,这在信息、航空航天等高技术领域用DLC薄膜中尤为突出.目前,金属掺杂被认为是降低DLC膜......
采用磁控溅射方法在Si(100)基体上沉积超薄钨(W)膜。用激光应力仪、四探针测试仪及纳米压入仪分别研究了薄膜的残余应力、电阻率及......
本文利用X衍射技术测试了化学沉积后的残余应力,同时测量了激光热处理后残余应力的变化规律,用SEM观察了化学沉积Ni-P/SiC的结构,......
碳化硅陶瓷凭借其优良的性能被广泛应用于化工、电子、能源、运输等领域。近年来,碳化硅材料的光学性质备受瞩目,常压固相烧结碳化硅......
提出了一种利用临界屈曲法在线测量微机械薄膜残余应力的新结构,并采用表面微加工技术制作了两种测试样品.搭建了在线观测实验装置......
阐述了薄膜残余应力对MEMS器件结构的影响及其产生根源、测量技术与控制技术,对多层薄膜结构中热应力的产生进行了有限元建模和理......
在比较曲率测量技术常用的Stoney公式及其修正式的基础上,利用有限元分析方法,建立薄膜/基底结构的有限元模型,给出一种薄膜残余应......
表面微机械微小量程压力传感器采用多晶硅薄膜等有内应力的敏感膜片时 ,应力往往会使膜片的力学灵敏度大大下降 ,无法满足微量程测......