电子探针特征X射线谱线识别的方法研究

来源 :第十三届全国电子显微学会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：luzhenning

【摘要】

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特征X射线是电子探针分析的主要信息,根据特征频率(或波长)就可以识别样品中存在哪种元素,这是电子探针定性分析的基本原理.在定性分析的释谱过程中要注意谱线的判别,峰的重

【作者】

：

姚立王微田地

【机构】

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吉林大学测试科学实验中心(吉林长春)

【出处】

：

第十三届全国电子显微学会议

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

电子探针分析特征频率射线谱线识别定性分析形态变化准确性干扰峰重叠原理元素样品信息判别精度鉴别分峰波长

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特征X射线是电子探针分析的主要信息,根据特征频率(或波长)就可以识别样品中存在哪种元素,这是电子探针定性分析的基本原理.在定性分析的释谱过程中要注意谱线的判别,峰的重叠和X射线的形态变化所引起的峰位的变化.本文主要在EMX-SM7型电子探针上进行谱线分峰研究,鉴别干扰峰,提高分析的准确性和精度.

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