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利用微波近场显微镜研究薄膜微波表面电阻的空间分布
利用微波近场显微镜研究薄膜微波表面电阻的空间分布
来源 :1999年全国微波毫米波会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wodelqm
【摘 要】
:
--该文介绍了作者们设计和制造的一套同轴谐振腔型微波近场扫描显微镜,利用该显微镜可以研究材料微波特性的空间分布,文章分析了微波近场扫描显微镜的空间分辨率并研究了影响空间
【作 者】
:
冯一军
刘雷
刘庆国
尤立星
杨森祖
【机 构】
:
大学电子科学与工程系
【出 处】
:
1999年全国微波毫米波会议
【发表日期】
:
1999年期
【关键词】
:
微波近场显微镜
薄膜微波表面电阻
扫描显微镜
空间分辨率
空间分布
同轴谐振腔
微波特性
金属薄膜
制造
设计
测量
材料
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--该文介绍了作者们设计和制造的一套同轴谐振腔型微波近场扫描显微镜,利用该显微镜可以研究材料微波特性的空间分布,文章分析了微波近场扫描显微镜的空间分辨率并研究了影响空间分辨率的因素。利用这套微波近场扫描显微镜,以金属薄膜的微波表面电阻的空间分布进行了测量。
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