一种基于泽尼克多项式的倾斜波面干涉仪误差标定方法

来源 :第十七届全国光学测试学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:abubob
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利用COMSOL有限元分析软件,建立了在连续高能激光辐照下熔融石英基片热形变分析模型,并针对基片在不同的夹持方式下的热形变进行了比较分析。研究结果表明,采用四周固定的方式,热形变量是最小的。此外,还利用VirtualLab软件定量分析了熔融石英基片热形变对光束质量的影响。基片的热形变会对光束质量造成影响,激光辐照时间越长,热形变量越大,对光束质量影响越大。
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