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通过氧化还原反应在不同的银离子溶液、氢氟酸溶液中制备出了硅基银枝晶纳米材料，采用X 射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱仪(Raman spectroscopy)分别对样品的结构、微观形貌以及表面增强拉曼光谱性能(SERS)进行了表征。结果表明，随着溶液中银离子浓度和反应时间的增加，所制备的银形貌从团簇状向树枝状转变，其作为SERS 基底对R6G 染料的增强能力显著提高。然而在相同浓度银离子溶液中，随着HF 溶液的浓度升高，所生成银枝晶结构逐渐消融，其表面增强能力逐渐衰减。通过硝酸腐蚀所制备的硅基银枝晶结构，得到了垂直于基底的硅基纳米线阵列，初步提出了银枝晶和硅基纳米线的生长机理及SERS 基底的表面增强机制。