【摘 要】
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本文首先针对电荷泵技术在多晶硅薄膜晶体管中的应用进行了优化。通过调整栅脉冲的边沿时间消除了电荷泵电流中的几何因素电流。通过这样的优化之后,多晶硅薄膜晶体管中也能获得和MOSFET中类似的电荷泵曲线。在此基础上,提取了陷阱态密度在禁带上半部分的典型分布,并采用多种方法准确提取了平均陷阱态密度。更进一步,基于传统的电荷泵模型,我们首次提出了一种可以完全避免几何因素电流影
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本文首先针对电荷泵技术在多晶硅薄膜晶体管中的应用进行了优化。通过调整栅脉冲的边沿时间消除了电荷泵电流中的几何因素电流。通过这样的优化之后,多晶硅薄膜晶体管中也能获得和MOSFET中类似的电荷泵曲线。在此基础上,提取了陷阱态密度在禁带上半部分的典型分布,并采用多种方法准确提取了平均陷阱态密度。更进一步,基于传统的电荷泵模型,我们首次提出了一种可以完全避免几何因素电流影响的改进型陷阱态密度提取方法。采用这种方法提取的陷阱态密度和其他两种传统方法提取的陷阱态密度高度一致,而传统方法需要先采用优化的电荷泵技术以消除几何因素效应。这不仅充分说明了新方法的可行性,同时也证明了改进型方法的高效性优点。
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